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SMC流體控制和高真空元件

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SMC高真空元件

更新時(shí)間：2012-12-18　點(diǎn)擊數(shù)：2731

鋁制高真空L型閥 XL□

系列/CAD	動(dòng)作方式	軸密封形式	閥形式	材質(zhì)	法蘭尺寸
XLA	氣控	波紋管密封	單作用 (N.C.)	閥體：　鋁合金波紋管：　SUS316L	16～80
XLAV (帶電磁閥)
XLC			雙作用
XLCV (帶電磁閥)
XLF		O形圈密封	單作用 (N.C.)	閥體：　鋁合金	16～160
XLFV (帶電磁閥)
XLG			雙作用		16～80
XLGV (帶電磁閥)
XLD		波紋管・ O形圈密封	單作用 (N.C.)	閥體：　鋁合金波紋管：　SUS316L	25～80
XLDV (帶電磁閥)
XLH	手動(dòng)	波紋管密封	手動(dòng)	閥體：　鋁合金波紋管：　SUS316L	16～50
XLS	電磁式	波紋管壓力平衡	單作用 (N.C.)		16, 25
特長	抗氟腐蝕能力強(qiáng)。放出氣體少。重金屬污染少。

鋁制快換接頭裝拆高真空L型閥 XLAQ·XLDQ

系列/CAD	動(dòng)作方式	軸密封形式	閥形式	材質(zhì)	法蘭尺寸
XLAQ	氣控	波紋管密封	單作用 (N.C.)	閥體：　鋁波紋管：　SUS316L	16～50
XLDQ	氣控	波紋管密封 O形圈密封	單作用 (N.C.)	閥體：　鋁波紋管：　SUS316L	40,50
特長	快換接頭裝拆 (無需工具)

不銹鋼制高真空L型閥／直通閥 XM/XY

注）對(duì)直通型無尺寸16的閥。

系列/CAD (L型/直通型)	動(dòng)作方式	軸密封方式	閥形式	材質(zhì)	法蘭尺寸
XMA/XYA	氣控	波紋管密封	單作用 (N.C.)	閥體：　 SCS13 　 (相當(dāng)SUS304) 波紋管：　 SUS316L	16～80^注）
XMC/XYC		波紋管密封	雙作用	閥體：　 SCS13 　 (相當(dāng)SUS304) 波紋管：　 SUS316L	16～80^注）
XMD/XYD		波紋管 O型圈密封	單作用 (N.C.)	閥體：　SCS13 　(相當(dāng)SUS304) 波紋管：　SUS316L	25～80
XMH/XYH	手動(dòng)	波紋管密封	手動(dòng)	閥體：　SCS13 　 (相當(dāng)SUS304) 波紋管：　SUS316L	16～50^注）
特長	采用精密鑄造一體化結(jié)構(gòu)，無氣體滯留。與鋁制高真空L型閥XL系列的安裝有互換性 (XM系列)

磁性開關(guān) D

系列	磁性開關(guān)種類	內(nèi)容
D Series	有觸點(diǎn)的磁性開關(guān)	一般 (通用型)
D Series	無觸點(diǎn)的磁性開關(guān)	一般 (通用型)

平穩(wěn)出氣閥 XVD

系列/CAD	閥形式	使用流體	配管連接方式	配管尺寸
XVD	常斷 (加壓通/彈簧密封)	氮?dú)狻⒖諝狻⒍栊詺怏w等	VCR^® Swagelok^®	1/4B
特長	閥與針閥一體化結(jié)構(gòu)使配管縮短為原來的1/4。 (閥芯)座部分采用間隙隔膜，微粒子數(shù)量大幅降低。伴隨主供氣初期供氣可進(jìn)行流量調(diào)整。

門閥 XGT

系列/CAD	使用壓力范圍 (Pa)	使用流體	門尺寸 (高×寬) (mm)	動(dòng)作壓力 (MPa)
XGT	大氣壓～1×10^-6	惰性氣體系的真空	32×222 46×236 50×336	0.45～0.6
特長	對(duì)于半導(dǎo)體裝置等場合、適合于負(fù)載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場合。

真空無桿氣缸 CYV

系列/CAD	使用環(huán)境壓力｛Pa (ABS)｝	缸徑 (mm)
CYV	大氣～1.3×10^-4	15,32
特長	真空環(huán)境內(nèi) (1.3×10^-4Pa) 在搬運(yùn)場合可以使用的氣缸。

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